Der deutsche Industriegerätehersteller ACP Systems hat sehunterstützte Roboterlösungen für die Waferverarbeitung in Beschichtungssysteme integriert, die von Singulus Technologies, Deutschland hergestellt und von Azur Space Solar Power, einem deutschen Hersteller von hochwertigen, effizienten, multi-Juni-Solarzellen für Raum- und Bodenkonzentrationssysteme, eingesetzt wurden, eingesetzt.
Laut ACP-Systemen benötigt der Multijunction-Solarzellenhersteller eine vollständig automatisierte Lösung, die in das PECVD-Verfahren (Plasma Enhanced Chemical Dampor Deposition) integriert ist, um die Produktivität zu verbessern, muss aber auch hochwertige Solarzellen basierend auf Germaniumsubstraten genau und sorgfältig verarbeiten.
Die neue Lösung soll sicherstellen, dass die in der Werkstückhalterung genannte Positionierungsgenauigkeit von +/- 0,1 mm erfüllt ist und die Herstellentoleranzen der Halterung und die durch Abkühlung während des Beladen verursachte Kontraktion kompensiert.
Um diese Herausforderung zu begegnen, haben wir eine intelligente, sehunterstützte Wafer-Verarbeitungslösung entwickelt, einen selektiven flexiblen Roboter-Roboter (Roboterarm), der die doppelseitige Beschichtung unterstützt. Der Roboter ist installiert und in den Wafer -Box -Ladebereich des Pecvd -Systems Singulululs Technologies integriert.
Ein Sprecher von ACP-Systemen bestätigte: Das neue System wurde im Juni 2024 in Betrieb genommen und seitdem gab es keine Behandlungsschadensunfälle.
Die Lösung umfasst mindestens zwei Kamera -Subsysteme, Cognex Vision Pro Machine Vision Software und Scara -Roboter. Letzteres hat eine Roboterarmverlängerung von bis zu 1.000 mm und kann den Wafer aus der Kassette aufnehmen und ihn zuverlässig und genau in ein paar hundert Kohlefaserschlitzgröße in Mikrometergröße auf der Werkstückhalterung stellen und andere Aufgaben ausführen.
Der Roboterarm ist mit einem flachen Vakuumhalter ausgestattet, der schnell ersetzt werden kann, um Wafer unterschiedlicher Größen zu behandeln. Das System wird auch mit einer Flipstation geliefert, damit die Solarzellen auf beiden Seiten beschichtet werden können. Laut ACP Systems: Abhängig von der Batteriegröße kann ein Fahrzeug von 1.000 mm x 600 mm 4, 9 oder 16 Wafer halten.
Eine 12-Megapixel-Kamera erkennt die genaue Position von Wafern in der Hintergrundbeleuchtungskalibrierungsphase und sendet Informationen während des gesamten Prozesses an die Software für maschinelle Vision. Die Software bietet Steuer- und Rechenleistung, um eine präzise Positionierung und Verarbeitung zu ermöglichen, auch wenn eine Abweichung von der ursprünglichen Größe, Form oder Dicke vorliegt. Beispielsweise führt bei Temperaturen bis zu 350 ° C die Kühlung nach der Beschichtung zu Wärmeschrumpfung von Wafern.
Verwenden Sie schließlich das Kamerasystem für die Qualitätskontrolle, um sicherzustellen, dass die Kanten des Wafers nicht beschädigt werden, bevor die beschichteten Solarzellen wieder in die Schachtel gebracht werden.
ACP Systems wurde 1997 gegründet und bietet Technologie für die Solarphotovoltaik-, Elektronik-, Halbleiter-, Automobil-, Medizin- und Pharmaindustrie. Das Unternehmen hat kürzlich Quatroclea entwickeltN Schneestrahlreinigungssystem, in Perovskit -Solarzellen und organische Photovoltaik (OPV) -Auffertigungsgeräte integriert, die von Sciphios produziert werden.